主管路过滤器 AFF
 | ・通过降低压降，提高处理空气量，实现了节能。
处理空气量：14.5m3/min（ANR） 与以前产品比最多提高了20％。
压降：5kPa以下。
・质量轻：最多削减52％(10.5kg→5.0kg)。
采用更薄的不锈钢外壳，减轻了质量。
・省空间、可减少工时。
1台过滤器既可去除水分又可去除固体杂质。
无需设置除水过滤器（水分离器 AMG系列），既省空间又节省配管工时。
・滤芯更换的作业性提高。
带有防止外壳落下的限位功能。 | |
 下载 | 系列 | 过滤精度（μm） | 额定流量 （m3/min［ANR］） | 接管口径 |
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| AFF | 1.0（捕捉效率99%） | 7～14.5 | 1,1/2, 2 |
 | ・去除油、水、异物等杂质，可提高下游干燥器的性能、延长精密过滤器滤芯的寿命、防止元件出现异常。 | |
下载 | 系列 | 过滤精度（μm） | 额定流量 L/min（ANR） | 接管口径 |
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| AFF | 3（捕捉效率99％） | 300～42000 | 1/8～4B法兰 |
直线型空气过滤器 ZFC
 | ・使用压力范围：－100kPa～1.0MPa。
既可用于正压也可用于真空压。
・采用防回转结构。
使用正压时，防止因松动造成零部件飞散。
・有2种透明外壳材质可选。
聚碳酸酯（标准）、尼龙（订制规格）。
注1）供给压力0.1MPa、压差30kPa
注2）订制规格
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下载 | 系列 | 适合管子外径
公制 | 适合管子外径
英制 | 流量 L/min（ANR）注1）
正压 | 流量 L/min（ANR）
真空压 | 过滤精度(μm) |
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| ZFC1□ | φ2, φ3.2 | φ1/8'' | 15/45 | 2/5 | 5，10注2） | | ZFC3□ | φ3.2, φ4 | φ1/8'', φ5/32'' | 50/80 | 7/10 | 5，10注2） | | ZFC5□ | φ4, φ6 | φ5/32'', φ1/4'' | 100/200 | 10/20 | 5，10注2） | | ZFC7□ | φ6, φ8 , φ10, φ12 | φ1/4'', φ5/16'', φ3/8'' | 250/450/550/650 | 30/70/80/100 | 5，10注2） |
 | ・IN、OUT在一条直线上。
・带快换管接头，易于拆装。
・树脂成型品，重量轻、体积小。
・可更换滤芯的卡盒型。
※ZFC050/100/200系列预计于2017年6月进行产品变更。
请选择ZFC1□～7□系列。 | |
下载 | 系列 | 适合管子外径
公制 | 适合管子外径
英制 | 流量 L/min
（ANR） | 过滤精度
(μm) |
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| ZFC050 | φ2，φ3.2，φ4 | φ1/8，φ5/32 | 2～10 | 10 | | ZFC100 | φ4，φ6 | φ5/32，φ1/4 | 10～20 | 10 | | ZFC200 | φ6，φ8 | φ1/4，φ5/16 | 30～50 | 10 |
 | ・采用可更换滤芯的卡盒型。
(SFA100・200・300，SFB100)
・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
(SFB300，SFC100) | |
下载 | 形式 | 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
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卡盒型
碟片型 | SFA100・200・300 | 最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm
（捕捉效率99.99％） | 卡盒型
直线型 | SFB100 | 最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm
（捕捉效率99.99％） | 一次性型
直线型 | SFB300 | 最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm
（捕捉效率99.99％） | 一次性型
多级碟片型 | SFC100 | 最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm
（捕捉效率99.99％） |
下载 | 形式 | 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|
卡盒型
直线型 | SFB200 | 最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa） | 120μm |
 | ・内置中空类滤芯。
・压降：0.03MPa（1次压0.7MPa、最大流量时）。
・减少了污染环境的化学物质，符合RoHS。 | |
下载 | 系列 | 种类 | 使用压力 | 过滤精度 |
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| SFD100 | 一次性
（不可更换滤芯） | 最高1.0MPa | 0.01μm
（捕捉效率：99.99%） | | SFD200 | 卡盒型
（可更换滤芯） | 最高1.0MPa | 0.01μm
（捕捉效率：99.99%） |
| ・将洁净元件模块化（削减配管工时／省空间）。
可轻松地得到洁净空气。
・过滤精度：0.01μm（捕捉效率99.99％）。
・接触流体部分：无润滑脂、无硅。
・在洁净室内进行双重捆包后出厂。
・有24种组合。
注）入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级 相当于1.4.1～1.6.1。 | |
下载 | 系列 | 使用流体 | 设定压力 | 流量范围 L/min（ANR） |
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| LLB3 | 洁净空气
N2气体 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 | | LLB4 | 洁净空气
N2气体 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
| ・配管工时削减/省空间。
・将各元件紧凑地一体化。
・可短间距安装
实现压力的集中管理。
・接触流体部分：无润滑脂。 | |
下载 | 系列 | 使用流体 | 设定压力 | 流量范围 L/min（ANR） |
|---|
| LLB1 | 空气、N2气体 | 0.05～0.6MPa
0.05～0.35MPa | ～100 |
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877297313
