2色显示式数字式流量开关 PFM
| ・可用于空气、N2、Ar、CO2 ・无润滑脂规格。 ・与流量调整阀一体化。 ・体积小、重量轻、省空间。 | |
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PFM | 0.2~10(0.2~5) 0.5~25(0.5~12.5) 1~50(1~25) 2~100(2~50) ( )为CO2的场合 |
| ・干燥空气、N2 ・无润滑脂规格。 ・与流量调整阀一体化。 ・体积小、省空间。 | |
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PFMB | 2~200 5~500 10~1000 20~2000 |
| ・干燥空气, N2。 ・3色显示 2画面。 ・流量范围扩大:1个开关可检测大范围的流量。 ・体积小、省空间。 | |
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PFMC | 5~500 10~1000 20~2000 |
3色显示式 数字式流量开关/大流量型 PF3A7□H
| ・适合流体:空气, N2。 ・流量范围:最大12,000L/min。 ・范围能力 100:1。 1台流量开关可计测大范围的流量。 ・耐冷凝水、耐异物能力提高。 ・压力损失降低75%(20kPa→5kPa)。 ・贯通构造。 | |
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PF3A7□H | 30~3000 60~6000 120~12000 |
| ・用于微小工件的吸附确认。 ・重复精度±2%F.S.。 ・响应速度5ms以下,耐压500kPa。 ・无润滑脂、符合RoHS。 ・电压显示器 一台可对应全范围。 ・相关元件:真空过滤器 ZFC050系列。 | |
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PFMV | 0~0.5 0~1 0~3 -0.5~0.5 -1~1 -3~3 |
| ・有一体型和显示器分离型。 ・开关输出、累积脉冲输出、模拟输出。 ・可切换积累流量、瞬时流量。 ・IP65。 ・4通道流量显示器。 可将4个不同流量范围的开关连接于1个控制器。
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PF2A | 1~10 5~50 10~100 20~200 50~500 150~3000 300~6000 600~12000 |
| ・3色2画面显示的流量传感器。 ・与温度传感器一体化。 ・40%小型化(与本公司PF2W相比) ・符合IP65、无润滑脂规格。 ・使用流体温度0~90℃ ・聚氯乙烯制配管型:用于脱离子水(纯水)、化学液。 | |
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PF3W | 0.5~4 2~16 5~40 10~100 50~250 |
3色显示 对应聚氯乙烯制配管的数字式流量开关 PF3W
| ・适应流体:脱离子水(纯水)、化学液等。 ・3色2画面显示的流量传感器。 ・符合IP65、无润滑脂规格。 ・使用流体温度0~70℃。 ・PVC管子外径:25A、30A。 | |
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PF3W | 10~100 30~250 |
| ・适用流体:水、水溶性冷却液。 ・紧凑・轻量。 56mm×40mm×90mm(H×W×D) 质量:340g(LFE1□3的场合)。 ・可检测逆流。 ・规格流体温度:0〜85℃。 ・消耗电流:45mA。 | |
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LFE□ | 0.5~20 2.5~100 5~200 |
纯水、化学液用数字式流量开关 PF2D
| ・主体传感器:NewPFA,管:SuperPFA ・低发尘、优异的置换特性。 ・4通道流量显示器。 可将4个不同流量范围的开关连接于1个控制器。
数字式开关设定系统详情: |
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PF2D | 0.4~4 1.8~20 4.0~40 |
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